圖1. XLSCAN平臺(tai)振鏡聯(lian)動(dong)系統

　　XLSCAN 簡介

　　在應用(yong)振(zhen)鏡(jing)的(de)激光系(xi)統(tong)(tong)中，加(jia)(jia)工范圍(wei)(wei)通常(chang)受(shou)限于振(zhen)鏡(jing)的(de)加(jia)(jia)工范圍(wei)(wei)。大幅面加(jia)(jia)工中通常(chang)采(cai)用(yong)平臺(tai)與振(zhen)鏡(jing)交(jiao)替工作的(de)方式將整(zheng)個(ge)加(jia)(jia)工幅面分割成若干份分別加(jia)(jia)工，這種方法帶來的(de)問題是加(jia)(jia)工精(jing)度受(shou)到拼接誤差的(de)限制(zhi)(zhi)。為了(le)克服這個(ge)限制(zhi)(zhi)，ACS與SCANLAB聯合開發了(le)XLSCAN系(xi)統(tong)(tong)實(shi)現了(le)機械平臺(tai)與振(zhen)鏡(jing)的(de)同步控制(zhi)(zhi)。

　　XLSCAN 目標市(shi)場

　　大幅面打標(biao)，切(qie)割(ge)，蝕刻

　　薄膜加工

　　玻璃加工

　　PCB鉆孔

　　2PP(多光(guang)子聚(ju)合)

　　XLSCAN主(zhu)要優勢(shi)

　　? 可連續擴展(zhan)加工(gong)范圍

　　? 顯(xian)著提高產能(特(te)定圖(tu)樣可較傳統方案提高40%以(yi)上的效率(lv))

　　? 無拼接誤差

　　? 高精度

　　? 可在輕微平(ping)臺震動的前(qian)提下實現平(ping)順的高動態加工

圖2. 聯動加工(左)與(yu)拼接(jie)加工(右)在典型(xing)的(de)圓孔加工過程中得到的(de)精度對比

　　系統概述：

圖3. XLSCAN 系(xi)統概述(shu)

　　硬件配置

　　機械運動平臺，ACS 驅動控(kong)制(zhi)系統(tong)(包(bao)含協(xie)議(yi)轉換模塊SLEC)，SCANLAB RTC6 振(zhen)鏡(jing)卡& SCNALAB 振(zhen)鏡(jing)頭，激光器(qi)及其他常(chang)規(gui)外設。該硬件配置為構成XLSCAN系統(tong)的最基本配置，對于多振(zhen)鏡(jing)多平臺的配置與本文介紹的配置會有差異，詳情(qing)請咨(zi)詢ACS中(zhong)國代表處。

　　ACS系(xi)統參數配置說明：

　　EXTFAC ：

　　Eg1：ACS系統(tong)以微米(mi)為單位

　　則EXTFAC(axis)=

　　即(ji)：EXTFAC(X)=1 ;EXTFAC(Y)=1;

　　Eg2 ：ACS系統使用毫米作(zuo)為運動單位

　　則EXTFAC(axis)= =0.001

　　即EXTFAC(X)= 0.001; EXTFAC(Y)= 0.001;

　　FOLLOWCH：

　　Eg1： system: EC+UDMhv+SLEC

　　SLEC node number 1:

　　> Axis 0 will follow channel 0

　　> Axis 2 will follow channel 1

　　在(zai)ACS buffer中配(pei)置如下:

　　FOLLOWCH(0) = 0x00010000;FOLLOWCH(2) = 0x00010001

　　在SCANLAB的XML文件中(zhong)配置如下：

　　SCANLAB syncAXISSysConfig.xml xml file:

　　StageAxisX=0

　　StageAxisY=2

　　SlecEtherCATNodeID=1

　　DriveEtherCATNodeID=0

　　Eg2:

　　System：EC+ SLEC+ MC4U(8 axes)+ MC4U(8 axes)+ SLEC

　　SLEC node number 0:

　　> Axes 0 will follow channel 0

　　> Axes 1 will follow channel 1.

　　SLEC node number 3:

　　> Axes 8 will follow channel 0

　　> Axes 9 will follow channel 1.

　　在 ACS buffer中(zhong)配置:

　　FOLLOWCH(0) = 0x00000000; FOLLOWCH(1) = 0x00000001

　　FOLLOWCH(8) = 0x00030000; FOLLOWCH(9) = 0x00030001

　　在syncAXISSysConfig_A.xml 文件中配置(zhi)如下:

　　StageAxisX=0

　　StageAxisY=1

　　SlecEtherCATNodeID=0

　　DriveEtherCATNodeID=1

　　在syncAXISSysConfig_B.xml 文件中配置如下

　　StageAxisX=8

　　StageAxisY=9

　　SlecEtherCATNodeID=3

　　DriveEtherCATNodeID=3

　　常用軟件工具

　　· syncAXIS Configurator.exe---配置XML文件(jian)

　　· TrajectoryViewer.exe---仿真軌(gui)跡

· 圖4. syncAXIS Configurator軟件

· 圖5. TrajectoryViewer.exe(振(zhen)鏡與平臺(tai)合成的(de)2D軌跡(ji))

· 圖6. TrajectoryViewer.exe(平臺自(zi)身的2D軌跡(ji))

· 圖7. TrajectoryViewer.exe(振鏡自身的(de)2D軌跡)

　　多平臺&多振鏡應用簡介(jie)

　　很多場合下，多平(ping)臺多振鏡的方法靈(ling)活配置(zhi)可以大大提高加工效率。

圖8. 多平臺(tai)-多振鏡方案

圖9. 目前多平(ping)臺多振鏡的可行方案(an)

        其(qi)他特殊需求可以與ACS中國代表處(chu)溝通確認